分子束外延介紹說明

日期：2025-12-16 14:05

瀏覽次數(shù)：941

摘要：

分子束外延特點(diǎn)

　　（1）生長速率極慢，大約1um/小時(shí)，分子束外延相當(dāng)于每秒生長一個(gè)單原子層，因此有利于實(shí)現(xiàn)**控制厚度、結(jié)構(gòu)與成分和形成陡峭的異質(zhì)結(jié)構(gòu)等。實(shí)際上是一種原子級的加工技術(shù)，因此MBE特別適于生長超晶格材料。

　　（2）外延生長的溫度低，因此降低了界面上熱膨脹引入的晶格失配效應(yīng)和襯底雜質(zhì)對外延層的自摻雜擴(kuò)散影響。

　　（3）由于生長是在超高真空中進(jìn)行的，襯底表面經(jīng)過處理可成為完全清潔的，在外延過程中可避免沾污，因而能生長出質(zhì)量極好的外延層。在分子束外延裝置中，一般還附有用以檢測表面結(jié)構(gòu)、成分和真空殘余氣體的儀器，可以隨時(shí)監(jiān)控外延層的成分和結(jié)構(gòu)的完整性，有利于科學(xué)研究.

　　（4）MBE是一個(gè)動力學(xué)過程，分子束外延即將入射的中性粒子（原子或分子）一個(gè)一個(gè)地堆積在襯底上進(jìn)行生長，而不是一個(gè)熱力學(xué)過程，所以它可以生長按照普通熱平衡生長方法難以生長的薄膜。

　　（5）MBE是一個(gè)超高真空的物理沉積過程，既不需要考慮中間化學(xué)反應(yīng)，又不受質(zhì)量傳輸?shù)挠绊懀⑶依每扉T可以對生長和中斷進(jìn)行瞬時(shí)控制。因此，膜的組分和摻雜濃度可隨源的變化而迅速調(diào)整。

尊敬的客戶：

您好，我司是一支技術(shù)力量雄厚的高素質(zhì)的開發(fā)群體，為廣大用戶提供高品質(zhì)產(chǎn)品、完整的解決方案和上等的技術(shù)服務(wù)公司。

本企業(yè)堅(jiān)持以誠信立業(yè)、以品質(zhì)守業(yè)、以進(jìn)取興業(yè)的宗旨，以更堅(jiān)定的步伐不斷攀登新的高峰，為民族自動化行業(yè)作出貢獻(xiàn)，歡迎新老顧客放心選購自己心儀的產(chǎn)品。我們將竭誠為您服務(wù)！

下一篇：橡膠去毛邊原理概述
上一篇：分子束外延的特點(diǎn)介紹